（1）半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路外部因素不正常所引起的故障；

　　（2）人為的操作使用過程不當(dāng)引起的故障；

　　（3）半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路自身內(nèi)部某些元件質(zhì)量缺陷引起的故障。

　　1、儀器外部因素不正常引起的設(shè)備故障

　　這類故障主要由于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境溫度、濕度不適宜，供電電壓不穩(wěn)，外部電磁場(chǎng)以及儀器受震動(dòng)而引起的。在溫度過高、濕度過大、通風(fēng)不良等環(huán)境條件下，設(shè)備運(yùn)行過程中某些元件會(huì)過熱，甚至燒毀，電路板會(huì)氧化、遭腐蝕損壞，電路短路以及導(dǎo)電性灰塵吸潮也能夠直接燒壞元件。

　　2、操作不當(dāng)或麻痹大意引起故障

　　如果操作者在實(shí)驗(yàn)過程中操作不當(dāng)，致使一些液體流入儀器內(nèi)部的電路板或元件上，會(huì)發(fā)生化學(xué)腐蝕和電化學(xué)腐蝕，使儀器受損。有的儀器設(shè)備在開機(jī)后須預(yù)熱一段時(shí)間方可使用，而有的儀器設(shè)備在開機(jī)后須按要求進(jìn)行調(diào)整、校正參數(shù)才能使用。如果儀器發(fā)生故障前的征兆沒能引起使用者注意，極有可能造成儀器損壞。這些人為操作不當(dāng)出現(xiàn)的故障應(yīng)引起管理者足夠重視。

　　3、儀器設(shè)備質(zhì)量問題引起的故障

　　碳膜電位器，多圈電位器或機(jī)械零部件因磨損、氧化或接觸不良能夠造成儀器設(shè)備的故障；儀器設(shè)備所使用的元器件性能不佳，例如，半導(dǎo)體器件、集成電路、電阻、電容等性能不穩(wěn)定也會(huì)引發(fā)故障；儀器設(shè)備生產(chǎn)廠家制造工藝落后、元器件虛焊、插件接觸不良，也能使儀器在使用過程中因瞬間電流偏高而擊穿元器件，造成短路或開路的故障。

　　半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的維護(hù)事項(xiàng)有哪些？

　　1、對(duì)庫(kù)存、備用或因任務(wù)不足需要封存一段時(shí)間的儀器設(shè)備要定期清潔、查點(diǎn)、進(jìn)行防塵、防銹、防潮等方面的維護(hù)。

　　2、各實(shí)驗(yàn)室必須建立嚴(yán)格的崗位責(zé)任制，半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)根據(jù)所使用儀器設(shè)備的特點(diǎn)和要求，制定相應(yīng)的維護(hù)保養(yǎng)措施，并認(rèn)真落實(shí)，使儀器設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)做到經(jīng)常化、制度化。

　　3、要加強(qiáng)對(duì)實(shí)驗(yàn)技術(shù)人員以及學(xué)生的基本操作訓(xùn)練，使他們熟悉儀器設(shè)備性能特點(diǎn)，掌握基本操作方法，避免因操作不當(dāng)或失誤造成損壞事故，特別是大型精密儀器設(shè)備使用，要嚴(yán)格執(zhí)行持證上崗的制度，嚴(yán)禁未經(jīng)培訓(xùn)、考核不合格人員私自操作大型精密儀器。

　　以上便是今天關(guān)于半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室氣路發(fā)生故障的原因一般可歸納為以下3類的全部分享了，希望對(duì)大家今后使用本設(shè)備能有幫助。